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尼康称,已在荷兰、德国和日本对阿斯麦和卡尔蔡司提起诉讼。
尼康今天宣布,已经对荷兰半导体行业光刻系统供应商阿斯麦(ASML)和德国光学及光电子学设备厂商卡尔蔡司(CarlZeiss)提起诉讼,指控这两家公司未经授权而使用其光刻技术。
尼康在一份声明中称:阿斯麦和卡尔蔡司未经尼康的许可下,在阿斯麦的光刻系统中使用尼康的专利技术。 卡尔蔡司是阿斯麦的光学设备供应商。
光刻系统被广泛应用于制造半导体,而阿斯麦又主导着半导体光刻机市场。评级机构惠誉评级(FitchRatings)今年1月发布的调研报告显示,在高端光刻机市场,阿斯麦的份额高达90%。
尼康在诉讼文件中说道,要求阿斯麦和卡尔蔡司对未授权使用专利技术做出赔偿。
阿斯麦总裁兼CEO彼得温尼克(PeterWennink)说:尼康的诉讼毫无依据,不必要为半导体市场制造不确定性。温尼克还说,阿斯麦曾多次试图与尼康谈判,希望对当前的一份授权协议进行延期。
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